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HG-4010濕度發生器億科利用高精度恒流泵定量供給液體水，通過控制液態水相變，氣態水蒸氣與干路載氣混合形成恒定濃度的濕氣,再通過恒定溫度控制形成不同溫度下的相對或絕對濕氣。

濕度發生器利用高精度計量泵定量供給液體水，通過控制液態水相變，氣態水蒸氣與干路載氣混合形成恒定濃度的濕氣,再通過恒定溫度控制形成不同溫度下的相對或絕對濕氣。

標準溫濕度發生器針對大溫度范圍（室溫-95℃）、大濕度范圍（0-95%RH）、快速響應（10秒級）、穩定輸出含濕氣體需求而專門開發的一款溫濕度發生器。它采用雙溫雙壓來發生濕度，但是在飽和器、分流控制算法、濕度和熱補償等方面進行了重要改進。

濕度發生器定制兼具便攜式結構與高精度計量性能的溫濕度校準儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規溫濕度測量儀表的計量校準需求。

雙股流法濕度發生器非標定制利用高精度恒流泵定量供給液體水，通過控制液態水相變，氣態水蒸氣與干路載氣混合形成恒定濃度的濕氣,再通過恒定溫度控制形成不同溫度下的相對或絕對濕氣。

濕度發生器晶圓CVD工藝用采用高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動小，小于±10pa，配置防爆型發生模塊。